集成化氣體供給系統 IAGD5、IAGD4

CKD自動化元件›高真空‧特殊氣體用元件›集成化氣體供給系統

省空間、提升維護性的製程氣體供給系統。
配合客戶要求的流程，從設計到製作一手包辦。

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