行程範圍
SJ-411的X軸：25mm
SJ-412 的X軸：50mm
Z軸：800μm、80μm、8μm，裝載特殊測針最大可以擴充到2,400μm
評估剖面 P、R、DF 、R-MOTIF、W-MOTIF
評價參數 Ra、Rc、Ry、Rz、Rq、Rt、Rmax、Rp、Rv、S、R3z、Rsk、Rku、Rpc、Rsm、Rz1max、HSC、RzJIS、Rppi、RΔa、RΔq、Rlr、Rmr、Rmr(c)、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、λa、λq、L0、Rpm、tp、Htp、R、Rx、AR、Wx、Wte、W、AW、Mr1、Mr2、A1、A2、Vo(可指定)
分析圖形 BAC負荷曲線、ADC振幅分佈圖
粗度規格 JIS'82、JIS'94、JIS'01、ISO'97、ANSI、VDA
資料補正 拋物線、雙曲線、橢圓形、圓、錐、傾斜、不補償
數位濾波器 2CR75(相位補償)、PC75、高斯Gaussian
截取長度 λc：0.08、0.25、0.8、2.5、8 mm
λs：2.5μm、8μm 、25μm
樣本長度(L) 0.08、0.25、0.8 、2.5、8mm
SJ-411任意長：0.1~25mm
SJ-412任意長：0.1~50mm
樣 本 數 ×1、×2、×3、×4、×5、×6、×7、×8、×9、×10、×L(0.3~1.6mm, 間隔0.01mm)
解 析 度 0.02 360μm / 0.006 100μm / 0.002 25μm
結果顯示 單筆參數結果、4筆參數結果、單筆參數併輪廓、同參數之近10筆結果、可指定需要顯示以及計算的參數
簡單輪廓 階、階高、面積、座標變異
D.A.T. 無鼻撬量測時之傾斜調整
列 印 機 熱感紙(列印寬度 48mm)
列印內容 量測條件、計算結果、合格判定、量測曲線、環境設定、每一樣本長度之計算結果
統計製程 最多3個參數之最大值、最小值、平均值、標準變異值、直方圖、通過率、標準偏移(1σ、2σ、3σ)等統計量測
量測條件 可儲存10種量測條件
語言種類 包含繁體中文之16國語言
顯示螢幕 觸控式LCD螢幕(117.888.2mm)
校 正 輸入粗度標準片可自動校正
資料輸出 USB、SPC輸出埠、RS-232C介面
電源供應 AC變壓器充電電池
充電電池 充電時間4小時 (無列印時約量測1500次)
自動睡眠 30~600秒內無操作動作
外觀尺寸 198275109mm
重 量 1.8kg
二、驅動部
驅動速度
量測：0.05mms、0.1mms、0.2mms、0.5mms、1mms
回歸：0.5mms、1mms、2mms、5mms
垂 直 度
SJ-411：0.3μm 25mm
SJ-412：0.5μm 50mm
三、測頭部
測定方法 差動感應
解 析 度
0.01μm：800μm（0.4inch 32000μinch）
0.001μm：80μm（0.04inch 3200μinch）
0.0001μm：8μm（0.004inch 320μinch）
測針材質 鑽石
測針尖端 2μm60°(-01)、5μm90°(-02)
量測壓力 0.75mN(-01)、4mN(-02)
鼻撬半徑 R40mm（R1.57）
量測模式 鼻撬 無鼻撬
四、標準配件
標準、伸縮
機種：
12BAK700 校正台
12BAG834 觸控筆
12BAL402 螢幕保護片
270732 列印紙(5捲)
12AAN041 攜帶包
178-601 粗度標準片(3μm)
AC變壓器
操作說明書
快速便覽
保證書