半導體設備用磁性流體密封轉軸

真空度壓力 [Pa]： 10-6

洩漏率(He) [Pa.m3/sec]：

溫度範圍(°C)：0~80°C

適用氣體：Inert Gas 惰性氣體

外殼材質：SUS304

軸材質：SUS420