無需任何安全措施
使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。無需使用雷射時必備的保護罩，在美國使用時不需要符合FDA標準。
施工簡便
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至最低限度，維護輕鬆。
低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現光電感測器同等的低功耗。
高解析度30μm
雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有雷射感測器同樣的高性能，因此可實現高精度檢測。
無需光軸調整
投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調整。並且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域，可對應各種不同尺寸的晶圓。
配備系數和偏移量調整功能
模擬輸出(1V～5V)除了系數調整功能之外，還具備方便的偏移調整功能，可在±0.5V的範圍內轉換模擬電壓。