安全性卓越的 LED式
以往使用雷射的雷射式定位感測器，雷射會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
亦可檢測玻璃晶圓
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
可檢測塗氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此，對於使用單波長雷射的感測器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的高速反應
實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。
基於2段受光元件的高精度位置檢測
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
可從四個方向引出電線
感測器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電線。可根據感測器的設置情況靈活調節。